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J-GLOBAL ID：200902240435390873   整理番号：09A1123580

時間変化する高気圧熱プラズマの基礎と応用

著者 (5件)： 松村年郎 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  田中康規 (金沢大 理工研究域) ,  石垣隆正 (法政大 生命科学) ,  新海健 (東芝 電力システム社) ,  鈴木克巳 (東芝 電力システム社)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 85  号： 10  ページ： 655-664  発行年： 2009年10月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本解説では,「時間変化する高気圧熱プラズマの基礎と応用」について解説・紹介する。ここで高気圧とは数10kPa程度から数MPa程度を指し,数kW~数GW級のアーク・熱プラズマを対象とする。高気圧熱プラズマ内では,電子-分子間衝突による電離・解離反応とともに,原子-分子,分子-分子,原子-原子など重粒子同士衝突による反応が優位に生じる。それとともにプラズマの温度および電子密度などを決定する時間スケールが,これらの反応と拡散・対流などの現象により決定される。時間変化する高気圧熱プラズマを応用する例はいくつかあり,例えば,大電流を遮断するスイッチングアークがある。そこでは室温程度の分子ガスとアークとを相互作用させながら,電子電流に対する導電性を数マイクロ秒程度で失わせる制御技術である。最近では高気圧熱プラズマの材料プロセス応用として,熱プラズマに意図的に過渡変動を生じさせ,温度・ラジカル密度の時間コントロールさせて,熱的・反応論的非平衡効果を熱プラズマにも導入する手法も考案されている。本解説では,これらの時間変化する高気圧熱プラズマ・アークについて,主に特性時間の観点から簡単にまとめている。(著者抄録)

シソーラス用語： *熱プラズマ ,  *プラズマ応用 ,  アーク現象 ,  電子衝突 ,  *プラズマ化学反応 ,  分子-電子衝突 ,  分子-原子衝突 ,  プラズマ温度 ,  電子密度 ,  プラズマ密度 ,  スイッチング ,  アークプラズマ ,  *プラズマ
準シソーラス用語： プラズマ反応 ,  化学的非平衡 ,  *高気圧熱プラズマ ,  衝突反応 ,  熱的非平衡

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (40件)：

• ISHIGAKI, T. Sci. Technol. Advanced Mater. 2005, 6, 111
• SHIGETA, M. Thin Solid Films. 2004, 457, 192
• VOROBEV, A. J. Phys. D : Appl. Phys. 2008, 41, 085302
• BERGHAUS, J. O. Meas. Sci. Technol. 2004, 15, 161
• OKADA, T. Thin Solid Films. 2008, 516, 3680

タイトルに関連する用語 (4件)： 高気圧 ,  熱プラズマ ,  基礎 ,  応用