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J-GLOBAL ID：200902240876233811   整理番号：07A0744891

Si(110)にマイクロ加工したシャドウマスクを用いて非平坦面上に堆積した薄膜金属パターンの広がり

Spreading of thin-film metal patterns deposited on nonplanar surfaces using a shadow mask micromachined in Si (110)

著者 (6件)： TIGGELAAR R. M. (Mesoscale Chemical Systems Group, and Transducers, Sci. and Technol. Group, MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of ...) ,  BERENSCHOT J. W. (Transducers, Sci. and Technol. Group, MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE ...) ,  ELWENSPOEK M. C. (Transducers, Sci. and Technol. Group, MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE ...) ,  GARDENIERS J. G. E. (Mesoscale Chemical Systems Group, MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD) ,  DORSMAN R. (Dep. of Multiscale Physics, Delft Univ. of Technol., Prins Bernhardlaan 6, 2628 BW, Delft, NLD) ,  KLEIJN C. R. (Dep. of Multiscale Physics, Delft Univ. of Technol., Prins Bernhardlaan 6, 2628 BW, Delft, NLD)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 25  号： 4  ページ： 1207  発行年： 2007年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜金属堆積のための(110)配向シリコンにおける三次元自己...

シソーラス用語： *ロジウム触媒 ,...
準シソーラス用語： 自己整列

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分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  貴金属触媒  (CB06122I)

タイトルに関連する用語 (7件)： Si ,  マイクロ加工 ,  シャドウマスク ,  平坦面 ,  堆積 ,  薄膜金属 ,  広がり