文献
J-GLOBAL ID：200902242282749802   整理番号：06A0905449

垂直櫛形電極を用いた差動容量型三軸SOI加速度計

A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes
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著者 (4件)：
HAMAGUCHI Hiroyuki

HAMAGUCHI Hiroyuki について

(Kyoto Univ., Kyoto)

Kyoto Univ., Kyoto について

, 
SUGANO Koji

SUGANO Koji について

(Kyoto Univ., Kyoto)

Kyoto Univ., Kyoto について

, 
TSUCHIYA Toshiyuki

TSUCHIYA Toshiyuki について

(Kyoto Univ., Kyoto)

Kyoto Univ., Kyoto について

, 
TABATA Osamu

TABATA Osamu について

(Kyoto Univ., Kyoto)

Kyoto Univ., Kyoto について


資料名：
Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)

Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems について


巻： 23rd  ページ： 471-476  発行年： 2006年10月05日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ニ層マスクと自己整合プロセスおよび深堀り反応性イオンエッチン...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*加速度計

加速度計 について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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DRIE

DRIE について


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分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 
(AD05040K)

時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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垂直

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, 
櫛形電極

櫛形電極 について

, 
差動

差動 について

, 
SOI

SOI について

, 
加速度計

加速度計 について


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