文献

J-GLOBAL ID：200902244561231417   整理番号：09A0929925

表面トポグラフィー学習観測装置による原子間力顕微鏡の高速高精度な制御

High-speed High-precision Control of Atomic Force Microscope by Surface Topography Learning Observer

著者 (2件)： SHIRAISHI Takayuki (Yokohama National Univ., JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Yokohama National Univ., JPN)
資料名： Proceedings of the American Control Conference  (Proceedings of the American Control Conference)
巻： 2009 Vol.2  ページ： 961-966  発行年： 2009年 
JST資料番号： B0982A  ISSN： 0743-1619  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高速画像化を行うために,外乱観測理論に基づた表面トポグラフィー観測装置を開発した。これはプラントの共振を考慮しないで観測装置のポールを見つけることができ,高速画像化の実現に成功した。しかしXスキャナの速度が上がるにつれてトラッキングエラーが増えるので,フィードフォワード補償によりトラッキングエラーを抑止する方法を開発した。この方法が高速のAFMにとって有効であることをシミュレーションと実験を行って証明した。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  追跡 ,  フィードフォワード制御 ,  *トポグラフィー【形態】 ,  走査装置
準シソーラス用語： スキャナ ,  トラッキング ,  画像化 ,  *表面トポグラフィー

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 表面トポグラフィー ,  学習 ,  観測装置 ,  原子間力顕微鏡