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J-GLOBAL ID：200902245115686482   整理番号：05A0719752

スパイラル微小コイルの製作に対する三次元LIGAプロセスの開発

Development of Three Dimensional LIGA Process to Fabricate Spiral Microcoil

著者 (7件)： MEKARU Harutaka (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  KUSUMI Shinji (SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  SATO Noriaki (Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  SHIMIZU Masami (Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  YAMASHITA Michiru (Hyogo Prefectural Inst. Technol., Kobe, JPN) ,  SHIMADA Osamu (SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  HATTORI Tadashi (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 7B  ページ： 5749-5754  発行年： 2005年07月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： これまでに,Siウエハ上での2.5次元プロセス法としてLIG...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： LIGA

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (6件)：

• 1) Catalog of chip coil (Murata Manufacturing Co., Ltd., Kyoto, 2004) p. 6.
• 2) E. W. Becker, W. Ehrfeld, P. Hagmann, A. Maner and D. Münchmeyer: Microelectron. Eng. 4 (1986) 35.
• 3) A. Ando, S. Amano, S. Hashimoto, H. Kinoshita, S. Miyamoto, T. Mochizuki, M. Niibe, Y. Shoji, M. Terasawa, T. Watanabe and N. Kumagai: J. Synchrotron Rad. 5 (1998) 342.
• 4) H. Mekaru, Y. Utsumi and T. Hattori: Nucl. Instrum. & Methods A <B>467-8</B> (2001) 741.
• 5) H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada and T. Hattori: Jpn. J. Appl. Phys. 43 (2004) 4036.

タイトルに関連する用語 (5件)： スパイラル ,  微小 ,  製作 ,  LIGAプロセス ,  開発