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J-GLOBAL ID：200902282175551864   整理番号：04A0543854

シンクロトロン放射のX線リソグラフィーを用いた螺旋マイクロコイル用原型の作製

Fabrication of Mold Master for Spiral Microcoil Utilizing X-Ray Lithography of Synchrotron Radiation

著者 (6件)： MEKARU H (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  KUSUMI S (SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  SATO N (Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  YAMASHITA M (Hyogo Prefectural Inst. of Technol., Kobe, JPN) ,  SHIMADA O (SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  HATTORI T (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 6B  ページ： 4036-4040  発行年： 2004年06月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小曲面上に三次元の精密マイクロ構造を作製するために,高精密3...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• BECKER, E. W. Microelectron. Eng. 1986, 4, 35
• TABATA, O. Proc. IEEE 15th Int. Annual Conf. on Micro Electro Mechanical Systems 2002, Las Vegas. 2002, 180
• LEE, K. Proc. IEEE 16th Int. Annual Conf. on Micro Electro Mechanical Systems 2003, Kyoto. 2003, 558
• MEKARU, H. Nucl. Instrum. & Methods A. 2001, 467-468, 741
• ANDO, A. J. Synchrotron Rad. 1998, 5, 342

タイトルに関連する用語 (6件)： シンクロトロン放射 ,  X線リソグラフィー ,  螺旋 ,  マイクロコイル ,  原型 ,  作製