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J-GLOBAL ID：200902245524831257   整理番号：04A0593830

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡による集積回路観察

著者 (5件)： 山下将嗣 (理研) ,  紀和利彦 (岡山大 工) ,  斗内政吉 (大阪大 超伝導フォトニクス研セ) ,  大谷知行 (理研) ,  川瀬晃道 (理研)
資料名： レーザ顕微鏡研究会講演会抄録集  (Programme and Abstract Book. Meeting of the Society for Laser Microscopy, Japan)
巻： 30th  ページ： 6-10  発行年： 2004年07月02日 
JST資料番号： L1002A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集積回路内の電気的欠陥検出法への応用を目指して,レーザーテラ...

シソーラス用語： *光学顕微鏡 ,...

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分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 顕微鏡 ,  集積回路 ,  観察