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J-GLOBAL ID：200902247930754304   整理番号：09A0735603

感光性ジアゾ/PVAレジストへのカーボンナノチューブ(CNT)の応用

Application of Carbon Nanotube (CNT) to Photosensitive Diazo /PVA Resist

著者 (7件)： HARADA Kieko (Chiba Inst. of Technol., Chiba, JPN) ,  TANIAI Tetsuyuki (Chiba Inst. of Technol., Chiba, JPN) ,  NAKADA Masahiro (Chiba Inst. of Technol., Chiba, JPN) ,  HAMANA Hiroshi (Saitama Inst. of Technol., Saitama, JPN) ,  MATSUDA Kiyomi (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  TAKAHARA Shigeru (Chiba Univ., Chiba, JPN) ,  SUGITA Kazuyuki (Chiba Univ., Chiba, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 22  号： 3  ページ： 347-350  発行年： 2009年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層カーボンナノチューブ(CNT)と結合したパラ置換ベンゼンジアゾ化合物(SBD)の分解温度,D.T.を,固体でのTDAおよびDTAによって決定した。CNTをもつSBDのD.T.は,C₆₀によるSBDのそれより高く,それはCNTまたはC₆₀のないものより高かった。CNT(1:1)とC₆₀(1:1)をもつジアゾ化合物の安定化エネルギーは,WinMOPACによればそれぞれ-57および-7kJ/モルと算出された。算出結果は,CNTまたはC₆₀を有するジアゾの安定性を支える。CNTを有するジフェニル-4-ジアゾニウム硫酸塩/ホルムアルデヒド縮合物(DSR)を含むPVAレジストフィルムの光分解率は,CNTのないそれより高かった。CNTをもつDSR/PVAは光還元的に分解し,光エネルギーを吸収してCNTから発生する電子で加速されたと考えられる。そして,小さいエネルギーを吸収する。CNT(対重量ジアゾ比1/1)を含むレジスト層の硬度は,C₆₀でのそれより大きかった。これはCNTまたはC₆₀のないそれより大きかった。高耐久性は,ナノカーボンで高分子鎖の緊密充填に起因すると仮定される。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *多層カーボンナノチューブ ,  分解温度 ,  *フォトレジスト ,  *ポリビニルアルコール ,  *熱分解 ,  ジアゾ化合物 ,  計算化学 ,  硬度 ,  光分解 ,  高分子膜

分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： 4-アニリノベンゼンジアゾニウム

引用文献 (18件)：

• K. Harada, M. Kushida, K. Saito, K. Sugita and H. Iida, “Micro-and Nanopattering Polymers” H. Ito, E. Reichmanis, O. Naramasu and T. Ueno.eds., ACS Symp. Ser., 706, Amer. Chem. Soc., Washignton, D. C., 1998, pp. 126-133
• K. Harada, M. Kushida, K.Saito, K.Sugita and H. Iida, J. Imaging Sci. and Technol., 46,(2002)159.
• S. Nonogaki, H. Morishita, Y. Tomita and M. Nishigawa, J. Imaging Sci. and Tecnol., 30,(1986)86.
• T. Usami, T. Tanaka and S. Ishige, Electrophotography, 26,(1987)115.
• Y. Yoshida and S. Tatsuta, Electrophotography, 26,(1987)120.

タイトルに関連する用語 (5件)： 感光性 ,  レジスト ,  カーボンナノチューブ ,  CNT ,  応用