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J-GLOBAL ID:200902250084685583   整理番号:09A0834499

ナノ粒子によって促進された光重合

Nanoparticle-Enhanced Photopolymerization
著者 (7件):
資料名:
巻: 113  号: 27  ページ: 11720-11724  発行年: 2009年07月09日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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50MW/cm3のパスル照度のフェムト秒レーザーの照射によって誘起されたナノ構造化金薄膜によって支援されたホトレジストSU-8の光重合について研究した。ナノ構造化されない金薄膜では1時間のレーザー照射後も光重合は起らないが,プラズモン近接場増強が可能なギャップ幅が1から10nmの金のナノブロック構造において光重合速度が1桁以上向上された。光重合したレジストの容積は入射光の出力とともに指数関数的に増加した。容積増加は光重合領域での基板上の横方向の拡張によって起こり,一方,その高さは約150nm付近で飽和する。更に高い照射量では,光重合の広がりは近接場局在化領域の外側に達し,2次的な露光機構の存在を示す。これらの機構の中で,キャビティーによって促進されたフォトルミネセンス,金表面からの2次の調和発生,2次の調和発生とRaman散乱が最も可能性が高い。
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分類 (1件):
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重合触媒,重合開始剤 
タイトルに関連する用語 (3件):
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