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J-GLOBAL ID：200902252394220931   整理番号：09A1129902

原子間力顕微鏡による試料表面トポグラフィーの精度改良

Improving Accuracy of Sample Surface Topography by Atomic Force Microscopy

著者 (4件)： XU Mingsheng (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  FUJITA Daisuke (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  ONISHI Keiko (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  MIYAZAWA Kunichi (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 9  号： 10  ページ： 6003-6007  発行年： 2009年10月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チップ形状の効果を調べることにより,原子間力顕微鏡(AFM)のトポグラフィー分解能を向上する方法について報告した。チップの効果については,その高速走査方向および曲率半径を考慮に入れ,AFM画像を再構成した。再構成画像は,より正確な試料表面を与えた。著者らの知る限り,本研究によりAFMチップの高速走査方向の効果が初めて明らかになった。AFMはナノ技術において,測定,操作および位置決めに用いられるので,本方法は有用で意義あるものと考えられる。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *トポグラフィー【形態】 ,  精度 ,  チップ ,  *画像再構成 ,  顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  形状効果 ,  曲率 ,  ナノテクノロジー ,  *フラーレン ,  ナノ構造 ,  ホイスカ ,  *表面トポグラフィー ,  ナノホイスカ

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 原子間力顕微鏡 ,  試料 ,  表面トポグラフィー