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J-GLOBAL ID：200902253994538028   整理番号：06A0757391

有限厚さのダイヤモンド基材に近い領域での温度および気流分布のシミュレーション

Simulation of temperature and gas flow distributions in region close to a diamond substrate with finite thickness

著者 (5件)： YAMADA Hideaki (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  CHAYAHARA Akiyoshi (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  MOKUNO Yoshiaki (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  HORINO Yuji (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  SHIKATA Shinichi (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 15  号： 10  ページ： 1738-1742  発行年： 2006年10月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド化学蒸着用の反応器内での温度と気流の分布をシミュ...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  結晶成長技術・装置  (BK13020B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 厚さ ,  ダイヤモンド ,  気流分布 ,  シミュレーション