DC-PACVD装置を用いた大規模生産におけるDLC-Siコーティング

NAKANISHI K.; MORI H.; TACHIKAWA H.; ITOU K.; FUJIOKA M.; FUNAKI Y.

文献

J-GLOBAL ID：200902254583501723 整理番号：06A0161574

DC-PACVD装置を用いた大規模生産におけるDLC-Siコーティング

Investigation of DLC-Si coatings in large-scale production using DC-PACVD equipment

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巻： 200 号： 14-15 ページ： 4277-4281 発行年： 2006年04月10日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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