文献

J-GLOBAL ID：200902254818961956   整理番号：04A0504117

レジストフィルム上の微小欠陥(Micro Defect)で捕捉されるマイクロバブル(Micro Bubbles)

Micro Bubbles Captured at Micro Defect on Resist Film

著者 (2件)： ENDO H (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  KAWAI A (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 17  号： 1  ページ： 105-106  発行年： 2004年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アクリル樹脂から成るレジスト材料を用いて,レジスト表面に形成...

シソーラス用語： アクリル樹脂 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0504117&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L0202A") }}

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (2件)： エチレングリコール ,  ジヨードメタン

引用文献 (3件)：

• 1. A. Kawai and H. Endo, Ext. Abstr. 51^th Spring Meet. Japan Society of Applied Physics and Related Societies, Tokyo, March, (2004) 777, No.29a-G-9.
• 2. F. M. Fowks, Ind. Eng. Chem., 56 (1964) 40.
• 3. D. H. Kaelble, J. Appl. Polym. Sci., 18 (1974) 1869.

タイトルに関連する用語 (5件)： レジストフィルム ,  微小 ,  欠陥 ,  捕捉 ,  マイクロバブル