文献

J-GLOBAL ID：200902254860995470   整理番号：06A0426083

MEMSマイクロミラーの簡易ねじり強度試験の開発

Development of a Simple Test Method for Torsional Strength of MEMS Micromirror

著者 (4件)： 泉聡志 (東大 大学院工学系研究科) ,  山口真 (東大 大学院工学系研究科) ,  笹尾邦彦 (東大 大学院工学系研究科) ,  酒井信介 (東大 大学院工学系研究科)
資料名： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
巻： 72  号： 717  ページ： 728-734  発行年： 2006年05月25日 
JST資料番号： F0227B  ISSN： 0387-5008  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSマイクロミラーの簡易ねじり強度試験手法を開発した。前...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...
準シソーラス用語： ノッチング

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  セラミック材料  (HC04040H)

引用文献 (22件)：

• ASADA, N. IEEE Trans. Magnetics. 1994, 30, 4647
• YI, T. Meas. Sci. Technology. 1999, 10, 706
• JADAAN, O. J. Mater. Sci. 2003, 38, 4087
• VEDDE, J. Mater. Sci. Eng, B. 1996, 36, 246
• DING, J. Mater. Sci. Eng. B. 2001, 83, 42

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  マイクロミラー ,  簡易 ,  ねじり強度 ,  試験 ,  開発