絶対圧力測定のためのシリコン共鳴マイクロカンチレバー

BIANCO S.; COCUZZA M.; FERRERO S.; GIURI E.; PIACENZA G.; PIRRI C. F.; RICCI A.; SCALTRITO L.; BICH D.; MERIALDO A.; SCHINA P.; CORREALE R.

文献

J-GLOBAL ID：200902256870038158 整理番号：06A0574186

絶対圧力測定のためのシリコン共鳴マイクロカンチレバー

Silicon resonant microcantilevers for absolute pressure measurement

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=06A0574186&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0574186&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0974A") }}

著者 (12件)：

BIANCO S.

BIANCO S. について

名寄せID(JGPN) 200901100317672139 ですべてを検索
「BIANCO S.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

COCUZZA M.

COCUZZA M. について

名寄せID(JGPN) 200901100506179524 ですべてを検索
「COCUZZA M.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

FERRERO S.

FERRERO S. について

名寄せID(JGPN) 200901100438302606 ですべてを検索
「FERRERO S.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

GIURI E.

GIURI E. について

名寄せID(JGPN) 200901100579122261 ですべてを検索
「GIURI E.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

PIACENZA G.

PIACENZA G. について

名寄せID(JGPN) 200901100541523394 ですべてを検索
「PIACENZA G.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

PIRRI C. F.

PIRRI C. F. について

名寄せID(JGPN) 200901100518710918 ですべてを検索
「PIRRI C. F.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

RICCI A.

RICCI A. について

名寄せID(JGPN) 200901100363024354 ですべてを検索
「RICCI A.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

SCALTRITO L.

SCALTRITO L. について

名寄せID(JGPN) 200901100381035380 ですべてを検索
「SCALTRITO L.」ですべてを検索

(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)

χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000049448054 ですべてを検索
「χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA」ですべてを検索

BICH D.

BICH D. について

名寄せID(JGPN) 200901100498530136 ですべてを検索
「BICH D.」ですべてを検索

(Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA)

Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000068574540 ですべてを検索
「Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA」ですべてを検索

MERIALDO A.

MERIALDO A. について

名寄せID(JGPN) 200901100303235429 ですべてを検索
「MERIALDO A.」ですべてを検索

(Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA)

Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000068574540 ですべてを検索
「Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA」ですべてを検索

SCHINA P.

SCHINA P. について

名寄せID(JGPN) 200901100373119485 ですべてを検索
「SCHINA P.」ですべてを検索

(Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA)

Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000068574540 ですべてを検索
「Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA」ですべてを検索

CORREALE R.

CORREALE R. について

名寄せID(JGPN) 200901100378070590 ですべてを検索
「CORREALE R.」ですべてを検索

(Varian SpA, Via Fratelli Varian 54, Leini, 10040 Turin, ITA)

Varian SpA, Via Fratelli Varian 54, Leini, 10040 Turin, ITA について

名寄せID(JGON) 201551000057350527 ですべてを検索
「Varian SpA, Via Fratelli Varian 54, Leini, 10040 Turin, ITA」ですべてを検索

資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について

JST資料番号 E0974A ですべてを検索
ISSN,ISBN,CODENですべてを検索
資料情報を見る

巻： 24 号： 4 ページ： 1803-1809 発行年： 2006年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

抄録/ポイント：

抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

絶対圧力を測定するためのシリコン共鳴マイクロカンチレバーの開...

シソーラス用語：

シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

*圧力測定

圧力測定について

「圧力測定」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

,...
準シソーラス用語：

圧力依存性

圧力依存性について

「圧力依存性」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0574186&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0974A") }}

分類 (3件)：

分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです

力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器

(AD05050V)

力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器について

分類コード AD05050V で文献を検索
分類コード4桁 AD05 で文献を検索

, 真空技術

(BA02020L)

真空技術について

分類コード BA02020L で文献を検索
分類コード4桁 BA02 で文献を検索

, 固体デバイス製造技術一般

(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般について

分類コード NC03030V で文献を検索
分類コード4桁 NC03 で文献を検索

タイトルに関連する用語 (4件)：

タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

圧力測定

圧力測定について

「圧力測定」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

シリコン

シリコンについて

「シリコン」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

共鳴

共鳴について

「共鳴」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

マイクロカンチレバー

マイクロカンチレバーについて

「マイクロカンチレバー」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

前のページに戻る