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J-GLOBAL ID：200902258372979703   整理番号：06A0261157

トンネル電流を利用したマイクロ水平力センサの開発

Development of Micro Lateral Force Sensor Using Tunnelling Current

著者 (2件)： 白石直規 (オリンパス) ,  安藤泰久 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 72  号： 715  ページ： 975-982  発行年： 2006年03月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： AFMによる摩擦力分布の測定で,空間分解能を犠牲にせずに力検...

シソーラス用語： トンネル効果 ,...
準シソーラス用語： シリコン

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分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (18件)：

• TANDESKE, D. Pressure Sensors. 1991, 77
• TSUCHIYA, T. Z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrode. Sensors and Actuators A. 2004, 116, 378
• DEVERSE, R. A. Hadamard transform Raman imagery with a digital micromirror array. Vibrational Spectroscopy. 1999, 19, 177
• ZHANG, W. Electrostatic micromotor and its reliability. Microelectronics Reliability. 2005, 45, 1230
• LEGRAND, B. Stiction drive operation of micromotors : direct and reverse rotation control. Proc. 13^<th> Inter. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. 2005, 1, 57

タイトルに関連する用語 (4件)： トンネル電流 ,  マイクロ ,  水平力 ,  開発