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J-GLOBAL ID:200902258415394186   整理番号:05A1024509

電磁アクチュエータ一体型マイクロリニアポンプ

Electromagnetic actuator integrated micro linear pump.
著者 (5件):
資料名:
巻: 125  号: 12  ページ: 461-466  発行年: 2005年12月01日 
JST資料番号: L3098A  ISSN: 1341-8939  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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マイクロポンプは,マイクロ流体システム実現の要となる要素の一...
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分類 (2件):
分類
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ポンプ,各種揚水装置  ,  固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (8件):
  • (1) T. Kitano, S. Shoji, Y. Baba, and H. Fujita : Technology and Application of Micro Chemical chip, MARUZEN CO., pp. 271-280 (2004) (in Japanese)
  • 北森武彦·庄子習一·馬場嘉信·藤田博之:μ化学チップの技術と応用,丸善,pp. 271-280 (2004)
  • (2) Y. Yamada : “Micro pump for μTAS”, <i>Hydraulics & Pneumatics</i>, Vol. 42, No. 6, pp. 12-16 (2003) (in Japanese)
  • 山田嘉昭:「マイクロTAS用マイクロポンプ」,油空圧技術,42, 6,pp. 12-16 (2003)
  • (3) STAR MICRONICS CO., LTD. : Diaphragm Micro Pump.
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タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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