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J-GLOBAL ID：200902259129153755   整理番号：08A0442014

生体材料の選択性パターニング用直列Paryleneリフトオフプロセス

SEQUENTIAL PARYLENE LIFT-OFF PROCESS FOR SELECTIVE PATTERNING OF BIOLOGICAL MATERIALS

著者 (5件)： KURIBAYASHI K. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIRATSUKA Y. (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol. Hokuriku, Ishikawa, JPN) ,  YAMAMURA T. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TAKEUCHI S. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TAKEUCHI S. (JST-PRESTO, Saitama, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 20th Vol.2  ページ： 618-621  発行年： 2007年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 同一基板上への多種タイプ高分解能生体材料の多重パターニングは,ハイスループットで高感度の生体化学分析を行うえで重要な課題となっている。分子の多重パターニングを実現する最新のマイクロ流体Paryleneリフトオフパターニングでは,異なる材料のパターニング間のインタバル短縮が難しい。本論文では,種々のタイプの生体材料における選択性パターニング用の効率的で低コストの手法を提供する直列Paryleneリフトオフプロセスにつき報告した。脂質や蛋白質などの生体材料を,2Dおよび3D構成の同一基板上でパターン化した。製造のために,マイクロホールアレイを施した多重Paryleneシートを,標準フォトリソグラフィーを用いて容易に製作した。ユーザにとって,Paryleneシートを用いたパターニングプロセスは乾式および湿式条件いずれにおいても極めて単純なので,ユーザはParyleneシートを剥離展着剤のように直列的に用いて試料のパターン化を行うことができる。

シソーラス用語： *選択性 ,  *パターン形成 ,  *ポリキシリレン ,  *微細加工 ,  原価低減 ,  フォトリソグラフィー ,  脂質 ,  タンパク質 ,  二次元 ,  三次元 ,  剥離剤 ,  *パリレン ,  減少 ,  変化
準シソーラス用語： 3D ,  パターンニング ,  *リフトオフ加工 ,  *生体材料 ,  低コスト化

分類 (1件)： 生体の顕微鏡観察法  (EA03050C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 生体材料 ,  選択性 ,  パターニング ,  直列 ,  Parylene ,  リフトオフ ,  プロセス