非晶質相から微結晶シリコンの核生成機構

文献

J-GLOBAL ID：200902259270476789 整理番号：04A0511819

Nucleation mechanism of microcrystalline silicon from the amorphous phase

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資料名：
巻： 338/340 ページ： 97-101 発行年： 2004年06月15日
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

プラズマ増強化学蒸着(PECVD)法を使用して,微結晶シリコ...

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半導体薄膜 , 塩

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