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J-GLOBAL ID：200902260098706830   整理番号：08A0626495

生体分子のマイクロマニピュレーションのためのサブナノメータの分解能を持つシリコンナノピンセット

Silicon Nanotweezers With Subnanometer Resolution for the Micromanipulation of Biomolecules

著者 (7件)： YAMAHATA Christophe (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  COLLARD Dominique (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  LEGRAND Bernard (Univ. Sci. et Technol. Lille, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  TAKEKAWA Tetsuya (Kagawa Univ., Takamatsu, JPN) ,  KUMEMURA Momoko (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HASHIGUCHI Gen (Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN) ,  FUJITA Hiroyuki (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 17  号： 3  ページ： 623-631  発行年： 2008年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロメータサイズの粒子をレーザ光で捕獲することは以前から行われており,光学的捕獲技術により光ピンセット(OTs)が誕生し,今日生物物理学の研究室で普通に使われている。フィラメント状の分子のマニピュレーションと特性解析を目的とした静電駆動のシリコンナノピンセットについて記述した。統合した差動容量センサにより正確に距離を調整することができる一組の対立したチップで構成したMEMSの製造プロセスはシリコンオンインシュレータ技術をベースとし,KOHウエット異方性エッチングとディープリアクティブイオンエッチングを組み合わせて行った。チップ間の初期ギャップは20μm程度で,最高変位約2.5μmを示した。

シソーラス用語： *生体工学 ,  分子 ,  電気泳動 ,  MEMS ,  *作業工具 ,  ナノ構造 ,  操作 ,  SOI構造 ,  微分容量 ,  検出 ,  捕獲 ,  DNA【核酸】 ,  エッチング ,  RIE【エッチング】 ,  光トラッピング ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *バイオメカニクス ,  *生体分子 ,  誘電泳動 ,  *分子ピンセット ,  マニピュレーション ,  異方性エッチング ,  DRIE ,  光ピンセット

分類 (2件)： 生体計測  (EL03020C) ,  原子と光子の相互作用  (BH03060F)

タイトルに関連する用語 (7件)： 生体分子 ,  マイクロマニピュレーション ,  サブ ,  ナノメータ ,  分解能 ,  シリコン ,  ナノピンセット