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J-GLOBAL ID：200902260365587616   整理番号：06A0618960

SOIウエハ上にゾル-ゲル法で堆積したPZT厚膜による平坦な圧電片持梁の作製と性能

Fabrication and performance of a flat piezoelectric cantilever obtained using a sol-gel derived PZT thick film deposited on a SOI wafer

著者 (4件)： KOBAYASHI T (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  TSAUR J (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  ICHIKI M (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 15  号： 1  ページ： S137-S140  発行年： 2006年02月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記によりPt/Ti/PZT/Pt/Ti/SiO<sub>2...

シソーラス用語： 強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (9件)： SOI ,  ウエハ ,  ゾル-ゲル法 ,  堆積 ,  PZT ,  厚膜 ,  圧電 ,  片持梁 ,  作製