研究者
J-GLOBAL ID:200901010788263701
更新日: 2024年01月17日
小林 健
コバヤシ タケシ | Kobayashi Takeshi
所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター ネットワークMEMS研究チーム
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター ネットワークMEMS研究チーム について
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職名:
主任研究員
ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T30928171
研究分野 (3件):
無機材料、物性
, 電子デバイス、電子機器
, 薄膜、表面界面物性
研究キーワード (10件):
ゾルゲル
, 圧電ファイバ 反応・合成
, 圧電材料
, 低消費電力センサ
, 圧電センサ
, Power MEMS センサ
, MEMSセンサ
, 圧電MEMS MEMS
, MEMSデバイス
, MEMS
MISC (19件):
Jian Lu, Takeshi Kobayashi, Yi Zhang, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara. Wafer scale lead zirconate titanate film preparation by sol-gel method using stress balance layer. THIN SOLID FILMS. 2006. 515. 4. 1506-1510
S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda. The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. 2006. 16. 7. 1277-1284
T Kobayashi, J Tsaur, M Ichiki, R Maeda. Fabrication and performance of a flat piezoelectric cantilever obtained using a sol-gel derived PZT thick film deposited on a SOI wafer. SMART MATERIALS AND STRUCTURES. 2006. 15. 1. S137-S140
マイクロカンチレバの自励発振特性と自己検知自己駆動型AFMマイクロカンチレバの実現に向けた検討. 電子情報通信学会技術研究報告NLP. 2006. NLP2006. 29. 41-45
Micro Fabrication Technology of Ferroelectric Film and its Application to MEMS. WSEAS transactions on electronics. 2006. 3. 237-240
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所属学会 (2件):
エレクトロニクス実装学会
, 応用物理学会
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