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J-GLOBAL ID：200902260738393523   整理番号：06A0512634

金属棒にそって維持された表面波励起プラズマ柱の軸方向均一性の研究

Study on the axial uniformity of surface wave-excited plasma column sustained along a metal rod

著者 (2件)： KOUSAKA Hiroyuki (Nagoya Univ., Nagoya city, JPN) ,  UMEHARA Noritsugu (Nagoya Univ., Nagoya city, JPN)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 31  号： 2  ページ： 487-490  発行年： 2006年06月 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ表面処理プロセシングには,低プラズマ電子密度のDCプ...

シソーラス用語： *マイクロ波 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (4件)：

• M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg: Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley-Interscience, New York, 1994).
• A. Ander: Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition (Wiley-Interscience, New York, 2000).
• H. Kousaka, N. umehara, K. Ono, and J. Xu: Jpn. J. Appl. Phys.44(2005) L1154.
• H. Kousaka, J. Xu, and N. Umehara: Jpn. J. Appl. Phys.44(2005) L1052.

タイトルに関連する用語 (5件)： 金属棒 ,  表面波励起 ,  プラズマ柱 ,  均一性 ,  研究