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J-GLOBAL ID：200902230881881206   整理番号：05A0921066

金属-アンテナ表面波励起のプラズマ源を用いる長い高密度プラズマ柱の発生

Generation of Long and High-Density Plasma Column Using Metal-Antenna Surface Wave-Excited Plasma Source
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著者 (3件)：
KOUSAKA Hiroyuki

KOUSAKA Hiroyuki について

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

Nagoya Univ., Nagoya, JPN について

, 
XU Junqi

XU Junqi について

(Xi’an Inst. Technol., Xi’an, CHN)

Xi’an Inst. Technol., Xi’an, CHN について

, 
UMEHARA Noritsugu

UMEHARA Noritsugu について

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

Nagoya Univ., Nagoya, JPN について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)

Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters について


巻： 44  号： 33-36  ページ： L1052-L1055  発行年： 2005年09月10日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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アースされたチャンバに対して負のバイアスをかけた黒鉛ロッド(...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*マイクロ波照射

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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*黒鉛

黒鉛 について

,...
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分類 (1件)：
分類
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プラズマ生成・加熱 
(BJ02060E)

プラズマ生成・加熱 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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アンテナ

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表面波励起

表面波励起 について

, 
プラズマ源

プラズマ源 について

, 
高密度プラズマ

高密度プラズマ について


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