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J-GLOBAL ID：200902261311956779   整理番号：09A0882423

固体熱物性 薄膜の熱物性計測と標準 -熱拡散時間の標準薄膜-

著者 (3件)： 八木貴志 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  竹歳尚之 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  馬場哲也 (産業技術総合研 計測標準研究部門)
資料名： 計測標準と計量管理  (Measurement Standards and Metrology Management)
巻： 59  号： 2  ページ： 42-48  発行年： 2009年08月20日 
JST資料番号： F0771A  ISSN： 1880-1420  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜の熱物性値については,電子機器開発における熱マネジメント入力値としてのニーズが高まっている。産業技術総合研究所計量標準総合センタでは,2006年度から厚さ100nm前後の金属薄膜,2007年度には厚さ1000nm前後の窒化チタン薄膜を対象とする膜厚方向の熱拡散時間を校正する依頼試験サービスを開始した。本報告では熱拡散時間標準薄膜(窒化チタン,厚さ700nm)について,評価手法,作製手法および不確かさについて明らかにした。産総研の所有する高速レーザフラッシュ法を用い,膜厚方向の熱拡散時間が校正できる。本測定装置の原理,構成を示し解説した。また,標準薄膜の製造法と試料概要,熱拡散時間の測定,不確かさの決定,などにつき述べた。

シソーラス用語： 物理的性質 ,  熱特性 ,  標準物質 ,  *計量制度 ,  計量管理 ,  トレーサビリティ ,  *標準器 ,  キャリブレーション ,  精密測定 ,  薄膜 ,  *温度伝導率 ,  レーザ照射 ,  レーザ加熱 ,  熱物性 ,  *レーザフラッシュ法
準シソーラス用語： 熱拡散率

分類 (2件)： 金属の比熱・熱伝導  (BL05022V) ,  その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

引用文献 (17件)：

• N. Taketoshi, T. Baba and A. Ono,“Observation of Heat Diffusion across Submicrometer Metal Thin Films Using a Picosecond Thermoreflectance Technique” Japanese Journal of Applied Physics, 38, L1268.,(1999)
• N. Taketoshi, T. Baba and A. Ono,“Development of a thermal diffusivity measurement system for metal thin films using a picosecond thermoreflectance technique”, Measurement Science and Technology, 12, 2064-2073,(2001)
• N. Taketoshi, T. Baba E. Schaub and A. Ono “Homodyne detection technique using spontaneously generated reference signal in picosecond thermoreflectance measurements” Review Science Instruments, 74, 5226-5230,(2003)
• N. Taketoshi, T. Baba and A. Ono “Electrical delay technique in the picosecond thermoreflectance method for thermophysical property measurements of thin films” Review Science Instruments, 76, 094903.,(2005)
• T. Baba and A. Ono “Improvement of the laser flash method to reduce uncertainty in thermal diffusivity measurements” Measurement Science and Technology, 12, 2046-2057,(2001)

タイトルに関連する用語 (6件)： 固体 ,  熱物性 ,  薄膜 ,  計測 ,  標準 ,  熱拡散