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J-GLOBAL ID：200902263637712830   整理番号：03A0487983

スペックルノイズ除去機能を有する光触針式輪郭測定法の研究

A study on profile method using optical stylus with speckle noise removal function

著者 (3件)： 深津拡也 (東京都工高専) ,  柳和久 (長岡技科大) ,  嶋本篤 (フォトニクス)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69  号： 7  ページ： 1008-1012  発行年： 2003年07月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 焦点誤差検出を応用した非接触変位センサーを搭載する光触針式輪...

シソーラス用語： *形状測定 ,...

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (10件)：

• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53,2, 328
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103
• BROWN, A. J. C. High speed optical measurement of 3D surfaces. Proc. SPIE. 1992, 2008, 150
• 真下寛治. 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置. 精密工学会誌. 1993, 59,7, 1091

タイトルに関連する用語 (6件)： スペックルノイズ ,  除去機能 ,  触針 ,  輪郭 ,  測定法 ,  研究