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J-GLOBAL ID：200902263800910768   整理番号：06A0183374

インコネル基板上に作製した配向性AlN薄膜の高温高圧応答性

High Temperature and High Pressure Response of Aluminum Nitride Thin Films Prepared on Inconel Substrates

著者 (5件)： 大石康宣 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  岸和司 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  秋山守人 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  野間弘昭 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  大嶋一郎 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ)
資料名： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 114  号： 1327  ページ： 296-298  発行年： 2006年03月01日 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年は炭酸ガスの排出量を抑制するため自動車用エンジンの低燃費...

シソーラス用語： *圧力センサ ,...

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分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

引用文献 (10件)：

• 1) Nakatsuka, T., Kadoike, T., Hoshino, M., Ishii, H., Gotthard, E., Kawa, T. and Enomoto, Y., Proceeding of Academic Meeting of The Society of Automotive Engineers of Japan, No. 1-99, pp. 13-16 (1999) [in Japanese].
• 2) Ooishi, Y., Noma, H., Kishi, K., Ueno, N., Akiyama, M. and Kamohara, T., J. Ceram. Soc. Japan, Vol. 113, pp. 700-702 (2005) [in Japanese].
• 3) Stubbs, D. A. and Dutton, R. E., JOM, Vol. 48, pp. 29-31 (1996).
• 4) Kishi, K., Ooishi, Y., Noma, H., Ushijima, E., Ueno, N., Akiyama, M. and Tabaru, T., J. Eur. Ceram. Soc. (in press).
• 5) Ueno, N., Akiyama, M., Ikeda, K. and Tateyama, H., Society of Instrument and Control Engineers, Vol. 38, pp. 427-432 (2002) [in Japanese].

タイトルに関連する用語 (7件)： インコネル ,  作製 ,  配向性 ,  AlN ,  薄膜 ,  高温高圧 ,  応答性