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J-GLOBAL ID：200902263925524894   整理番号：03A0473067

アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ (負荷特性と小形化の検討)

A Resonantly-Driven Piezoelectric Micropump Using Active-Type Check Valves (Investigation on load characteristics and miniaturization)

著者 (6件)： PARK J-H (東工大 精研) ,  吉田和弘 (東工大 精研) ,  石川主税 (東京工大 大学院) ,  横田真一 (東工大 精研) ,  瀬戸毅 (セイコーエプソン) ,  高城邦彦 (セイコーエプソン)
資料名： 日本機械学会機素潤滑設計部門講演会講演論文集
巻： 3rd  ページ： 77-80  発行年： 2003年04月18日 
JST資料番号： L4344A  ISSN： 1348-3919  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では,高応答の積層形圧電アクチュエータにより能動的に吸入...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...
準シソーラス用語： シャトル弁

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分類 (1件)： ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P)

タイトルに関連する用語 (6件)： バルブ ,  共振 ,  圧電 ,  マイクロポンプ ,  負荷特性 ,  小形化