分光偏光解析法によるシリコンパラ結晶粒からの非晶質シリコンネットワークの発展の研究

HAZRA S; SAKATA I; YAMANAKA M; SUZUKI E

文献

J-GLOBAL ID：200902265452760229 整理番号：04A0659434

分光偏光解析法によるシリコンパラ結晶粒からの非晶質シリコンネットワークの発展の研究

Evolution of an amorphous silicon network from silicon paracrystallites studied by spectroscopic ellipsometry

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資料名：
巻： 69 号： 23 ページ： 235204.1-235204.5 発行年： 2004年06月
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

結晶性シリコン(c-Si)は短距離秩序(SRO)と長距離秩序...

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非晶質半導体の構造 , 半導体薄膜

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