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J-GLOBAL ID：200902265687491551   整理番号：09A0282747

Field Emitter Arrayの高機能化とその応用-FEAを用いた新規アプリケーションの提案-

Feild Emitter Array with focusing function and it’s applications-Proposal of new application using FEA-

著者 (9件)： 根尾陽一郎 (静岡大 電子工研) ,  武田匡史 (静岡大 電子工研) ,  田上智也 (静岡大 電子工研) ,  堀江瞬 (静岡大 電子工研) ,  青木徹 (静岡大 電子工研) ,  三村秀典 (静岡大 電子工研) ,  吉田知也 (産業技術総合研) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  金丸正剛 (産業技術総合研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 108  号： 438(SDM2008 216-230)  ページ： 23-27  発行年： 2009年02月19日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は電界放射微小電子源(Field Emission Array:FEA)に従来にない構造の集束電極を付加することで著しい性能向上を実現し,新規デバイスやアプリケーションの提案を行って来た。従来FEAは製造プロセス・構造の律束により,電子放出サイトの直上に減速電界による単孔レンズを設ける事が一般的であった。しかし,集束動作時に放出サイト近傍の電界強度の減少を引き起こす為,電子ビーム量の著しい減少は不可避であった。Field Emission Display(FED)応用を目的とし,電子ビーム量を維持し且つ集束機能を実現可能なvolcano-structured double-gated FEA構造を提案し作製・評価を行い,良好な結果を得ている。またこの構造を用いることで高周波管,高精細X線イメージングセンサやエキシマランプに応用し性能向上が期待出来る。更に電子ビームを高精細に集束させる為,アインツェルレンズ一体型の4段ゲートFEAの試作・評価を行った。この結果,クロスオーバーを実現可能である事を明らかにした。これによりカソード・カラム一体のマイクロサイズ電子線顕微鏡・電子線リソグラフィー実現への可能性を示した。(著者抄録)

シソーラス用語： 電子ビームリソグラフィー ,  電子ビーム ,  静電レンズ ,  *電界放出アレイ ,  *応用研究 ,  顕微鏡
準シソーラス用語： Einzelレンズ ,  電子線顕微鏡

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高機能化 ,  応用 ,  FEA ,  アプリケーション ,  提案