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J-GLOBAL ID：200902265771886936   整理番号：09A1238306

SU-8片持梁構造によるフレキシブルなエレクトロレオロジカルマイクロバルブ(FERV)とそのマイクロアクチュエータへの応用

A flexible electro-rheological microvalve (FERV) based on SU-8 cantilever structures and its application to microactuators

著者 (4件)： KIM Joon-wan (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., R2-42, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN) ,  YOSHIDA Kazuhiro (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., R2-42, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN) ,  KOUDA Kumiko (Graduate School, Tokyo Inst. of Technol., JPN) ,  YOKOTA Shinichi (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., R2-42, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 156  号： 2  ページ： 366-372  発行年： 2009年12月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フレキシブルなエレクトロレオロジカルマイクロアクチュエータ(FERMA)の実現の目的に沿って,本報告は薄いSU-8片持梁構造とSU-8サンドイッチ構造の,微小流体チャネルを均一ER流体用の集積MEMS利用フレキシブルERマイクロバルブ(FERV)について報告する。このFERVはフルイディックチャネル埋込み片持梁構造である。このFERVは長さ5mm,幅2.4mm,厚み0.2mmにつくられ,このFERVは充分に柔軟に屈曲する。このFERVの静・動的特性を実験的に検討する。このFERVの制御可能な圧力変化率は供給圧力の約70%であり,ステップアップ応答時間は約0.25sである。まっすぐなFERVと屈曲FERVの間の静的と動的性能の差異はさほどではなく,屈曲はFERV特性に影響を及ぼさないとわかった。ベローズ型FERMAを実現し,その伸びは4.8mmである。これらの実験結果はFERMAの実用性を立証している。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ER流体 ,  微細構造 ,  *弁 ,  MEMS ,  柔軟性 ,  *マイクロアクチュエータ ,  フォトレジスト ,  片持梁 ,  マイクロマシニング ,  フルイディクス ,  流体回路 ,  埋込み【挿入】 ,  流量制御弁 ,  フォトレジストSU-8 ,  *マイクロバルブ
準シソーラス用語： SU-8 ,  *マイクロ弁

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (4件)： SU-8 ,  片持梁 ,  マイクロアクチュエータ ,  応用