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J-GLOBAL ID：200902267657571332   整理番号：05A0713936

大気圧下での触媒増強気相エピタクシーによるATカット面結晶石英膜の成長

Growth of crystalline quartz films with AT-cut plane by means of catalyst-enhanced vapor-phase epitaxy under atmospheric pressure

著者 (6件)： TAKAHASHI Naoyuki (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsus, Shizuoka 432-8561 ...) ,  NAKUMURA Takato (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsus, Shizuoka 432-8561 ...) ,  NONAKA Satoshi (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN) ,  KUBO Yoshinori (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN) ,  SINRIKI Yoichi (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN) ,  TAMANUKI Katsumi (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN)
資料名： Journal of Physics and Chemistry of Solids  (Journal of Physics and Chemistry of Solids)
巻： 66  号： 7  ページ： 1145-1149  発行年： 2005年07月 
JST資料番号： C0202A  ISSN： 0022-3697  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ATカット面結晶石英膜を,触媒増強気相エピタクシーによりサフ...

シソーラス用語： 触媒活性 ,...
準シソーラス用語： VPE成長

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大気圧 ,  触媒 ,  増強 ,  気相エピタクシー ,  ATカット ,  結晶 ,  石英 ,  成長