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J-GLOBAL ID：200902268158237215   整理番号：05A0666470

エキシマレーザ結晶化を用いた位置制御Si島におけるコインシデンスサイト格子結晶粒界の電気特性

Electrical property of coincidence site lattice grain boundary in location-controlled Si island by excimer-laser crystallization

著者 (8件)： ISHIHARA R. (Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD) ,  HE M. (Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD) ,  RANA V. (Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD) ,  HIROSHIMA Y. (Seiko-Epson, Technol. Platform Res. Center, Nagano, JPN) ,  INOUE S. (Seiko-Epson, Technol. Platform Res. Center, Nagano, JPN) ,  SHIMODA T. (Seiko-Epson, Technol. Platform Res. Center, Nagano, JPN) ,  METSELAAR J.w. (Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD) ,  BEENAKKER C.i.m. (Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 487  号： 1-2  ページ： 97-101  発行年： 2005年09月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エキシマレーザ結晶化に基づく,いわゆるμ-Czochrals...

シソーラス用語： エキシマレーザ ,...
準シソーラス用語： 単一粒子TFT

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分類 (3件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： エキシマレーザ ,  結晶化 ,  位置制御 ,  Si ,  コインシデンスサイト格子 ,  結晶粒界 ,  電気特性