MOSFETからのホットキャリア誘起光電子放出のスペクトル解析のためのテスト構造

MATSUDA T; OHZONE T; ODANAKA S; YAMASHITA K; KOIKE N; TATSUUMA K

文献

J-GLOBAL ID：200902269315959285 整理番号：03A0394425

MOSFETからのホットキャリア誘起光電子放出のスペクトル解析のためのテスト構造

A Test Structure for Spectrum Analysis of Hot-Carrier-Induced Photoemission From MOSFETs

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資料名：
巻： 16 号： 2 ページ： 233-238 発行年： 2003年05月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

サブクォータミクロンn-MOSFETからの十分な光電子放出強...

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