文献

J-GLOBAL ID：200902272965325362   整理番号：04A0701393

ZnOの光学的特性に応用した組合わせイオン注入法

Combinatorial Ion Implantation Techniques Application to Optical Characteristics of ZnO

著者 (3件)： SAKAGUCHI I (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  HISHITA S (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  HANEDA H (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 8A  ページ： 5562-5563  発行年： 2004年08月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では移動マスクシステムおよびデジタル走査システムのよ...

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,...
準シソーラス用語： 発光強度

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

引用文献 (9件)：

• 1) I. Graßhans, H. Karl and B. Stritzker: Mater. Sci. Eng. B 101 (2003) 212.
• 2) I. Graßhans, H. Karl and B. Stritzker: Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 190 (2002) 865.
• 3) K. Y. Gao, H. Karl, I. Graßhans, W. Hipp and B. Strizker: Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 196 (2002) 68.
• 4) Y. Sato, I. Sakaguchi, H. Haneda and M. Suzuki: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 5867.
• 5) J. F. Ziegler, J. P. Biersack and U. Littmark: The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, New York) Chap. 8, p. 1585.

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnO ,  光学的特性 ,  応用 ,  組合わせ ,  イオン注入法