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J-GLOBAL ID：200902275897924367   整理番号：04A0893204

266nm連続波固体レーザの信頼性に及ぼすパージ・ガスの影響

Effect of Purge Gas on the Reliability of a 266 nm Continuous-Wave Solid-State Laser

著者 (5件)： WADA H (SONY Co., Atsugi-shi, JPN) ,  OKA M (SONY Co., Atsugi-shi, JPN) ,  TATSUKI K (SONY Co., Atsugi-shi, JPN) ,  SAITO M (SONY Co., Atsugi-shi, JPN) ,  KUBOTA S (SONY Co., Atsugi-shi, JPN)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E87-C  号： 12  ページ： 2186-2188  発行年： 2004年12月01日 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パージ・ガスの影響下で266nm連続波(cw)固体レーザの信...

シソーラス用語： 紫外線 ,...
準シソーラス用語： パージガス

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分類 (1件)： 固体レーザ  (BD04080W)

引用文献 (12件)：

• TAKEDA, M. Deep UV mastering with a write compensation technique realizing over 20GB/layer capacity disc. Jpn. J. Appl. Phys. 1. 2000, 39, 2B, 797-799
• EGUCHI, N. New deep-UV microscope. Proc. SPIE. 1999, 3740, 394-397
• OKA, M. All solid-state continuous-wave frequency-quadrupled Nd : YAG laser. IEEE Sel. Top. Quantum Electron. 1995, 1, 3, 859-866
• KUBOTA, S. DUV lasers applied to semiconductor inspection and optical disk mastering. Proc. IEEE Lasers and Electro-Optics Society Summer Topical Meetings LEOS 2001, July. 2001, 23-24
• KONDO, K. Demonstration of long-term reliability of a 266nm, continuous-wave, frequency-quadrupled slid-state laser using β-BaB_2O_4. Opt. Lett. 1998, 23, 3, 195-197

タイトルに関連する用語 (3件)： 連続波 ,  固体レーザ ,  パージ