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J-GLOBAL ID：200902279013389116   整理番号：03A0648187

IC断線評価システムの空間分解能評価

著者 (4件)： 山下将嗣 (理研) ,  紀和利彦 (阪大 超伝導セ) ,  川瀬晃道 (理研) ,  斗内政吉 (阪大 超伝導セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 64th  号： 3  ページ： 1004  発行年： 2003年08月30日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *放射測定 ,...

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分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： IC ,  断線 ,  評価システム ,  空間分解能 ,  評価