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J-GLOBAL ID：200902279528487617   整理番号：08A0558025

SiH₄-H₂混合気体での測定された気体濃度と流れの特性

Measured Gas Concentrations and Flow Properties in SiH₄-H₂ Mixtures

著者 (2件)： SUZUKI Atsushi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  NONAKA Hidehiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 5 Issue 1  ページ： 3661-3665  発行年： 2008年05月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シラン-水素(SiH₄-H₂)気体混合物におけるそれぞれの気体濃度を,隔壁ゲージと水晶摩擦圧力ゲージ(D及びQゲージ)を用いて測定した。0.13-1.3kPaの一定圧力では,Qゲージの圧力の読みは,SiH₄とH₂の密度に依存した。それゆえ,Qゲージ圧力の読みのSiH₄の分圧への依存性は,気体混合物の中のこれらの気体の濃度を測定するために用いることができた。気体混合物の流れにおける相対的なSiH₄密度は,SiH₄流速比より高く,混合物の流れが分子性と粘性の間で中間的であることを示した。圧力で正常にされたQゲージ圧から見積もられた気体混合物の粘性は,Wilkeの方程式による計算と比較し,現在の測定を使用することで気体混合物の粘性を導出することができるということを見出した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *混合気体 ,  *シラン ,  *水素 ,  圧力計 ,  *濃度測定 ,  流速 ,  *粘性
準シソーラス用語： 圧力ゲージ

分類 (1件)： 気体の輸送現象  (BJ01022N)

引用文献 (17件)：

• A. Matsuda: J. Non-Cryst. Solids 59-60(1983) 767.
• S. Guha, K. L. Narasimhan, and S. M. Pietruszko: J. Appl. Phys. 52(1981) 859.
• P. K. Acharya, H. D. Banerjee, K. L. Chopra, S. C. Saha, and S. Ray: Sol. Energy Mater. Sol. Cells 32(1994) 21.
• M. Shiratani, S. Maeda, K. Koga, and Y. Watanabe: Jpn. J. Appl. Phys. 39(2000) 287.
• Y. Toyoshima: ETL Rep. 979(1996) p.64[in Japanese].

タイトルに関連する用語 (3件)： 混合気体 ,  気体濃度 ,  流れ