文献

J-GLOBAL ID：200902279707689303   整理番号：07A0104387

液体輸送MOCVDによるAlドープZnO薄膜の調製

Preparation of Al doped ZnO thin films by Liquid-Delivery MOCVD

著者 (4件)： KABEYA Masanori (Meisei Univ., Tokyo, JPN) ,  TASAKI Yuzo (Toshima MFG Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  NITTAMACHI Takashi (Toshima MFG Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  YOSHIZAWA Shuji (Meisei Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 31  号： 4  ページ： 1021-1024  発行年： 2006年12月 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 液晶ディスプレイ用途などのITO薄膜に代るAlドープZnO薄...

シソーラス用語： ジケトン ,...
準シソーラス用語： ドープ処理 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0104387&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L4468A") }}

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (3件)：

• Junichi Nishino, Shigeo Ohshio and Kiichiro KamataJ. Am ceram. Soc., 75, 3469(1992)
• Jianhua Hu and Roy G. Gordon, J. Appl. Phys., 71, 880(1992).
• E. W. Berg and N. M. Herrera Anal. Chim. Acta, 60, 117(1972)

タイトルに関連する用語 (5件)： 液体輸送 ,  MOCVD ,  AlドープZnO ,  薄膜 ,  調製