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J-GLOBAL ID：200902280797065654   整理番号：06A0377132

砥粒レス超音波研磨法によるCVDダイヤモンド膜の研磨技術の開発

著者 (3件)： 横沢毅 (東京都産技研) ,  高木純一郎 (横浜国大 大学院) ,  片岡征二 (東京都中小企業振興公社)
資料名： 型技術  (Die and Mould Technology)
巻： 21  号： 7  ページ： 055-058  発行年： 2006年06月01日 
JST資料番号： X0147A  ISSN： 0912-5582  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ドライプレス加工用金型のCVDダイヤモンド膜被覆...

シソーラス用語： *蒸着膜 ,...
準シソーラス用語： 研磨痕 ,...

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分類 (2件)： プレス加工  (WC04050H) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 砥粒 ,  レス ,  超音波 ,  研磨 ,  CVD ,  ダイヤモンド膜 ,  開発