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J-GLOBAL ID：200902282227216848   整理番号：05A0995532

Ar/O2プラズマエッチング使用によるダイヤモンドホイスカの調製

Preparation of diamond whiskers using Ar/O2 plasma etching
著者 (2件)：
LI C.y.

LI C.y. について

(Dep. of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi Univ. of Technol., 185 Miyano-kuchi, Tosayamada, Kami-gun ...)

Dep. of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi Univ. of Technol., 185 Miyano-kuchi, Tosayamada, Kami-gun ... について

, 
HATTA A.

HATTA A. について

(Dep. of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi Univ. of Technol., 185 Miyano-kuchi, Tosayamada, Kami-gun ...)

Dep. of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi Univ. of Technol., 185 Miyano-kuchi, Tosayamada, Kami-gun ... について


資料名：
Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)

Diamond and Related Materials について


巻： 14  号： 11-12  ページ： 1780-1783  発行年： 2005年11月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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化学蒸着(CVD)ダイヤモンド膜のAr/O<sub>2</s...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマエッチング

プラズマエッチング について

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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  炭素とその化合物 
(YB02060D)

炭素とその化合物 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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Ar

Ar について

, 
O2

O2 について

, 
プラズマエッチング

プラズマエッチング について

, 
ダイヤモンド

ダイヤモンド について

, 
ホイスカ

ホイスカ について

, 
調製

調製 について


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