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J-GLOBAL ID：200902284413781248   整理番号：06A0642987

高温での圧力センサとして,窒化アルミニウム薄膜の出力電圧の測定

Measurement of output voltage of aluminum nitride thin film as a pressure sensor at high temperature

著者 (7件)： KISHI Kazushi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...) ,  OOISHI Yasunobu (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...) ,  NOMA Hiroaki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...) ,  USHIJIMA Eizo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...) ,  UENO Naohiro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...) ,  AKIYAMA Morito (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...) ,  TABARU Tatsuo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
資料名： Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)
巻： 26  号： 15  ページ： 3425-3430  発行年： 2006年 
JST資料番号： E0801B  ISSN： 0955-2219  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlN薄膜を使ったセンサ構成要素の出力電圧を,窒素雰囲気中,...

シソーラス用語： *圧力センサ ,...
準シソーラス用語： インコネル600

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分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧力センサ ,  窒化アルミニウム ,  薄膜 ,  出力電圧