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J-GLOBAL ID：200902285449889769   整理番号：06A0018945

「電子顕微鏡法による材料開発のための微細構造研究最前線(5)」電子線誘起蒸着法によるW-nanodendrite構造作製と電子線加速電圧の効果

著者 (4件)： XIE Guoqiang (物質・材料研究機構) ,  SONG Minghui (物質・材料研究機構) ,  三石和貴 (物質・材料研究機構) ,  古屋一夫 (物質・材料研究機構)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 44  号： 12  ページ： 972  発行年： 2005年12月20日 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Wを含有する有機金属ガス(W(CO)₆...

シソーラス用語： 金属薄膜 ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (2件)：

• XIE, G. Q. J. Nanosci. Nanotech. 2005, 5, 4, 615-619
• SONG, M. Appl. Phys. A. 2005, 80, 1431-1436

タイトルに関連する用語 (9件)： 電子顕微鏡法 ,  開発 ,  微細構造 ,  研究 ,  電子線 ,  誘起 ,  蒸着 ,  作製 ,  加速電圧