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J-GLOBAL ID：200902285639645670   整理番号：08A0332524

低気圧下衝撃電界電子加速によるCF₄解離反応促進のモンテカルロシミュレーション

Monte Carlo simulation of promotion of CF₄ dissociation reaction by impulse-field electron acceleration method under low pressures

著者 (6件)： 荒木田大嗣 (北大) ,  江口礼良 (北大) ,  森直樹 (北大) ,  菅原広剛 (北大) ,  酒井洋輔 (北大) ,  須田善行 (北大)
資料名： 電気学会放電研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： ED-08  号： 37-44  ページ： 1-5  発行年： 2008年03月10日 
JST資料番号： Z0911A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フルオロカーボン(CF4)は集積回路製造工程で,ドライエッチングや低誘電率層間絶縁膜堆積の材料ガスとして使用されているが,CF4分解方法の一つに非平衡プラズマを用いた分解法が,提案されている。衝撃電界電子加速法によって効率的な電子加速を行なうためには,電子加速過程における衝突を少なくすることが望ましい。定性的に気圧を低くすると,プラズマ中の気体分子の数密度が低くなり,無衝突加速に適していると言われている。そこで,本稿では,気圧の条件を変えて解析を行い,電子加速過程における衝突や,電子エネルギーがCF₄分解反応に消費される割合がどのように変化するかを調べることで,電子加速やCF₄分解反応の気圧依存性を定量的に評価した。解析の結果,気圧が低いほどCF₄分解に寄与する衝突のエネルギー消費割合が高くなり,0.1Torrと1.0Torrにおける結果を比較すると,ε_targetを5~100eVの範囲で変化させた場合,0.1Torrの方が平均で約17%高くなった。

シソーラス用語： *脂肪族フッ素化合物 ,  *分解反応 ,  プラズマ化学反応 ,  解離 ,  モンテカルロ法 ,  シミュレーションモデル ,  気圧 ,  半導体プロセス
準シソーラス用語： クロロフルオロカーボン

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (6件)：

• H Sugawara and Y Sakai:“Electron acceleration in gas by impulse electric field and its application to selective promotion of an electron-molecule reaction”, I Phys. D: Appl. Phys.36 1994-2000(2003)
• 荒木田大嗣、森直樹、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔:「CF₄中の衝撃電界電子加速におけるエネルギー効率の電界波形依存性」平成19年電気学会全国大会No.1-081 96(2007)
• 荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行:「衝撃電界電子加速によるCF₄分子、CF_xラジカル分解の効率」平成19年プラズマ・放電研究会No.PST-07-48/ED-07-128(2007)
• Kurihara M, Petrovi’c Z Lj and Makabe T:“Electron collision cross sections of CF₄” J Phys. D Appl. Phys.33 2146-53(2000)
• L. G. Christophorou, J. K. Olthoff and M. V. V. S. Rao:“Electron interactions with CF4” I Phys. Chew. Ref Data 25(5)1341.1388(1996)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低気圧 ,  衝撃 ,  電界 ,  電子加速 ,  解離反応 ,  促進 ,  モンテカルロシミュレーション