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J-GLOBAL ID：200902286510215608   整理番号：07A0237183

精密セラミックガイドレール上の進行振動を用いた超音波浮上非接触台

An Ultrasonically Levitated Noncontact Stage Using Traveling Vibrations on Precision Ceramic Guide Rails

著者 (5件)： KOYAMA Daisuke (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  IDE Takeshi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  FRIEND James R. (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  NAKAMURA Kentaro (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  UEHA Sadayuki (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 54  号： 3  ページ： 597-604  発行年： 2007年03月 
JST資料番号： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超音波浮上を利用した新しい非接触台を有限要素解析により設計し...

シソーラス用語： *浮上法 ,...
準シソーラス用語： *超音波浮上 ,...

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分類 (1件)： その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (5件)： セラミック ,  ガイドレール ,  超音波 ,  浮上 ,  非接触