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J-GLOBAL ID：200902287583307965   整理番号：07A0265087

ナノ構造化炭素系薄膜の進展 ナノ構造化によるDLC膜の耐久性向上

著者 (1件)： 伴雅人 (日本工大 工)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 58  号： 1  ページ： 23-27  発行年： 2007年01月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ構造の制御によるDLC(ダイヤモンド状炭素)膜の耐久性の...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (3件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  潤滑法  (QB02020D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (20件)：

• 1) 小鯛亜紀, 東 誠, 伴 雅人;川崎重工技報, 151, 20 (2002).
• 2) たとえば, K. J. Clay, S. P. Speakman, N. A. Morrison, N. Tomozeiu, W. I. Milne and A. Kapoor;Diamond Relat. Mater., 7, 1100 (1998).
• 3) H. Yamada, O. Tsuji and P. Wood ; Thin Solid Films, 270 (1995) 220.
• 4) M. Ban, M. Ryoji, T. Hasegawa, Y. Mori, S. Fujii and J. Fujioka ; Diamond Relat. Mater., 12, 47 (2003).
• 5) A. Grill and V. V. Patel ; Diamond Films and Technol., 1, 219 (1992).

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノ構造 ,  炭素 ,  薄膜 ,  進展 ,  DLC膜 ,  耐久性向上