文献

J-GLOBAL ID：200902288590183380   整理番号：04A0197165

VLSIの物理解析のためのサンプル調整法

Sample preparation techniques for physical analysis of VLSIs

著者 (4件)： NAKAJIMA S (NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN) ,  NAKAMURA S (NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN) ,  UEKI T (NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN) ,  SAKAI T (NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 44  号： 3  ページ： 449-458  発行年： 2004年03月 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： VLSIの不良解析を行うためには,精細なサンプル調整を行って...

シソーラス用語： *超LSI ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0197165&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0530A") }}

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： VLSI ,  物理 ,  解析 ,  サンプル ,  調整法