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J-GLOBAL ID：200902290170948904   整理番号：05A1019063

光触針式輪郭測定機の性能向上を目的としたスペックル誤差補正システム

A Speckle Error Compensation System for Improving Measurement Performance of Optical Stylus Instrument

著者 (2件)： 深津拡也 (東京都工高専) ,  柳和久 (長岡技科大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 70  号： 5  ページ： 716-720  発行年： 2004年05月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 既報で提案したスペックル誤差補正方式で測定値にピークノイズが...

シソーラス用語： *形状測定 ,...
準シソーラス用語： 補正法

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (10件)：

• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103
• BROWN, A. J. C. High speed optical measurement of 3D surfaces. Proc. SPIE. 1992, 2008, 150
• 真下寛治. 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置. 精密工学会誌. 1993, 59, 7, 1091

タイトルに関連する用語 (6件)： 触針 ,  輪郭 ,  測定機 ,  性能向上 ,  スペックル ,  誤差補正