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J-GLOBAL ID：200902290227806893   整理番号：08A0698790

石川県におけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)研究の取り組みと今後の展望

著者 (1件)： 粟津薫 (石川県工試)
資料名： 先端加工  (先端加工学会誌)
巻： 26  号： 1  ページ： 5-12  発行年： 2008年04月01日 
JST資料番号： L2222A  ISSN： 0916-3468  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 石川県工業試験所におけるダイヤモンド状炭素(DLC)研究の取組みを総括した。最初,剥離しやすい被膜の密着性向上のためイオン注入法が適用されたが,コーティングとイオン注入の複合装置の導入により,炭素蒸着とイオンビーム照射を同時に行うことでDLC膜の密着性向上を計った。このDLC膜の密着性を評価する技術として,アコースティックエミッション(AE)センサーを引っかき試験に採用し,膜剥離時の衝撃力を解析した。更に,複雑形状物や3次元構造物へのDLC膜形成方法として,パルス制御により原料ガス投入後にプラズマが点灯する方法(複合パルスプラズマ成膜法,HPPC)を開発した。このHPPCシステムを利用して,DLCとナノダイヤモンドを積層する成膜プロセスを確立した。更に,DLC膜の硬さに影響する水素含有量の測定に取り組んだ。

シソーラス用語： ダイヤモンド ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *イオン注入 ,  引かき試験 ,  アコースティックエミッション ,  *被覆 ,  DLC膜 ,  密着性 ,  イオン照射
準シソーラス用語： コーティング ,  ナノダイヤモンド

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の材料の試験  (HB05000T)

引用文献 (22件)：

• S. Aisenberg, R. Chabot: Ion-Beam Depostion of Thin Films of Diamondlike Carbon, J. of Appl. Phys., 42(1971)2953-2958.
• H. Vora, T. J. Moravec: Structural Investigation of Thin Films of Diamondlike Carbon, J. of Appl. Phys., 52(1981)6151-6157.
• S. Matsumoto, Y. Sato, M. Kamo, N. Setaka:“ Vapor Deposition of Diamond Particles from Methane”, Japanese J. of Applied Physics, 21-4(1982) L18-L185.
• M. Kamo, Y. Sato, S. Matsumoto,. Setaka: Diamond Synthesis from Gas Phase in Microwave Plasma, J. of Crystal Growth, 62(1983)642-644.
• K. Awazu, H. Yoshida, H. Watanabe, K. Shimamura, M Iwaki: Effects of nitrogen ion beam bombardment of carbon thin films deposited on tungsten carbides and tool steels, IONICS, 17(1991)435-438.

タイトルに関連する用語 (5件)： 石川 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  DLC ,  研究 ,  展望