弾性表面波モータのナノメータステッピング駆動

SHIGEMATSU T; KURIBAYASHI(KUROSAWA) M; ASAI K

文献

J-GLOBAL ID：200902290629757147 整理番号：03A0351878

弾性表面波モータのナノメータステッピング駆動

Nanometer Stepping Drives of Surface Acoustic Wave Motor

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資料名：
巻： 50 号： 4 ページ： 376-385 発行年： 2003年04月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

弾性表面波モータのnmからサブnmの高分解能ステッピング駆動...

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その他の音響応用 , 電動機

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